XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台
技术参数
型号
XC050BS
行程
50mm
运动分辨率 *1
0.2μm
重量 *3
6.5kg
最大加速度 *2
0.1g
最大速度 *2
50mm/s
精度典型值（保证值）
±0.5（±1.5）μm
重复定位精度(3σ)典型值（保证值）
±0.3（±1.0）μm
水平方向直线度典型值（保证值）
±0.5（±1）μm
垂直方向直线度典型值（保证值）
±0.5（±1.5）μm
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧仪器工程师团队交流具体参数要求，优化高精密运动平台设计。