RAFD对焦传感器

瑞荧仪器为晶圆激光加工及光学检测设备提供了一套完整的运动控制及焦点追踪解决方案。方案主要解决了晶圆在XY平面运动时，因多种原因形成高度起伏，导致视觉和激光失焦，无法完成既定任务的情况。
瑞荧仪器RAFD系列同轴对焦传感器，用于在无限远显微光学系统中，测量物镜的焦面与工件表面的偏离程度。RAFD发射低功率结构化单色激光进入无限远光学空间中，经由物镜聚焦在工件表面，通过测量反射光的相位等信息，输出焦点的正负偏离距离。
由于采用了结构光原理而非图像识别，因此其测量速度可达到2KHz高速，结果准确度高，且分辨率随着物镜倍数提高而相应提高。RAFD可通过高速模拟或数字编码器接口输出结果。当物镜搭载在一个高速Z向运动台上（如MC025），并将RAFD信号作为反馈接入控制器中闭环控制时，可以实现物镜动态跟踪工件表面。可在晶圆快速运动时也能保证物镜焦点始终处于晶圆表面上，帮助提高视觉识别和加工的稳定性。而在以往方案中三者由于不同轴不同高，晶圆需要反复横向运动，需要更多步骤，并引入多种误差问题。
RAFD可通过二向色滤光片与系统中的其他光路共存，能实现在同一个物镜视野下同时进行对焦、机器视觉和激光加工等应用，帮助提高视觉和加工系统的可靠性，适用于多种半导体加工、检测及微加工领域等领域。瑞荧仪器提供上述的方案的完整安装组件，方便用户进行搭建。