IXY 系列双轴运动平台
技术参数
型号
IXY100
IXY200
行程
100mm
200mm
精度
-P: 0.5μm
-C: 1.5μm
-P: 1μm
-C: 2.0μm
重复定位精度(3σ)
-P: 0.25μm
-C: 0.5μm
-P: 0.5μm
-C: 1μm
运动分辨率 *1
AA: 5nm
DS: 100nm
AA: 5nm
DS: 100nm
最大速度 *2
200mm/s
300mm/s
最大加速度 *2
0.5g
0.5g
水平方向直线度
1.5μm
3μm
垂直方向直线度
3μm
5μm
偏航角
15μrad
30μrad
俯仰角
50μrad
100μrad
装载质量 *3
10kg
20kg
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧仪器工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
尺寸图说明
S
A
H
M
IXY100
100
255
102
150
IXY200
200
365
102
200
(unit in mm)